Фотолитография
(от фото. И литография) - 1) Ф. В полиграфии - фотомеханич. Способ изготовления формы плоской прямой печати на камне, металлич. Пластине, а также оттиск с такой формы. Методы Ф. Применяют и в технологии изготовления миниатюрных электронных устройств на интегр. Микросхемах. 2) Ф. В электронике - способ формирования рельефного изображения в слое металла, диэлектрика или ПП с использованием спец. Материалов, чувствит. К УФ излучению (т. Н. Фоторезистов). Цель Ф. - создать в слое фоторезиста "окна" заданной конфигурации для доступа травителей к расположенной под ним подложке (напр., ПП пластине с оксидной плёнкой). Применяется в электронном приборостроении при изготовлении интегральных схем, запоминающих устройств, прецизионных фотошаблонов и т.
Д. С размерами элементов 1 - 2 мкм и более.
Дополнительный поиск Фотолитография
На нашем сайте Вы найдете значение "Фотолитография" в словаре Большой энциклопедический политехнический словарь, подробное описание, примеры использования, словосочетания с выражением Фотолитография, различные варианты толкований, скрытый смысл.
Первая буква "Ф". Общая длина 14 символа