Вакуумметры

(от вакуум и греч. Metreo - измеряю), служат для измерения давления газов ниже атмосферного (см. Вакуум). Каждый из рассмотренных ниже типов В. Рассчитан на измерение в определенной области давлений (рис. 1). Рис. 1. Диапазон измерения давлений разл. Вакуумметрами. Области применения в химии и хим. Технологии. Жидкостные - обычно в лаб. Практике и для поверки В. Др. Типов. Деформационные, вязкостные, тепловые, ионизационные - в системах управления вакуумированием непосредственно в производств. Условиях. Ионизационные (в т. Ч. Радиоизотопные) - для регулирования давления в криогенных системах, контроля кач-ва готовой продукции, в произ-ве особо чистых в-в и т. Д. Жидкостные (гидростатические) В. В одном из колен U-образной трубки (рис.

2) газ находится под измеряемым давлением р и, в другом - под известным (т. Наз. Опорным) р оп. Разность давлений уравновешивается столбом жидкости высотой h и плотностью d. где -ускорение своб. Падения. Обычно р и р оп. Применяемые жидкости (ртуть или вакуумные масла) имеют при рабочей т-ре малое парциальное давление пара и химически нейтральны по отношению к газам и материалу трубки. Жидкостные В. Могут быть с открытым (как на рис. 2) или закрытым коленом. В последнем случае р оп 0 и, следовательно, измеряется абс. Давление газа. Достоинства жидкостных В. Простота конструкции, наглядность измерений. Недостатки. Проникновение паров жидкости в вакуумную систему, небольшой диапазон определяемых давлений, большие габариты, недостаточная прочность конструкции, трудность автоматизации измерений и записи отсчетов.

Погрешность до 10 Па. Рис. 1 Жидкостный вакуумметр с открытым коленом. Деформационные В. Измеряемое давление воздействует на упругий элемент (мембрану, сильфон, спиральную трубку), деформация к-рого пропорциональна давлению и определяется оптич. Или электрич. Методом, либо непосредственно превращ. С помощью мех. Передачи в показания стрелки прибора. Упругий элемент может также принудительно возвращаться в исходное положение посредством электрич. Или пневматич. Источников силы. В этом случае критерием давления служит компенсирующая сила или к.-л. Др. Величина, связанная с этой силой (напр., напряжение, ток, пневматич. Давление). В мембранных В. (рис. 3) Рис. 3. Мембранный вакуумметр. 1-упругая мембрана. 2-неподвижная пластина. 3- изолятор.

разрежение определяют по изменению емкости конденсатора, образованного мембраной и неподвижной пластиной. Достоинства деформационных В. Простота и надежность конструкции, недостаток. Небольшой диапазон измерений. Погрешность до 0,4%. Компрессионные В. (В. Мак-Леода). Прибор состоит из баллона объемом V, двух капилляров одинакового диаметра d, один из к-рых запаян, и трубки, соединяющей В. С системой, где измеряется давление (рис. 4). Снизу вводится жидкость (обычно ртуть), к-рая отсекает в объеме V газ при измеряемом давлении р и и затем сжимает его до давления .