Электронный Микроскоп

Вакуумный электронно-оптич. Прибор для наблюдения и фотографирования многократно увеличенного (до 106 раз) изображения объектов, полученного с помощью пучка электронов, ускоренных до больших энергий (30 - 100 кэВ и более). Для фокусировки электронного пучка в Э. М. Применяются магн. (электромагн.) или электростатич. Линзы. Исследуемый объект рассеивает, отражает и поглощает электроны. Для исследования объектов в проходящих пучках применяют Э. М. Просвечивающего типа, обладающие самой высокой разрешающей способностью (0,2 - 0,3 нм, а в отд. Случаях и выше) по сравнению с др. Типами Э. М. Для изучения массивных, непрозрачных для электронов объектов обычно применяют эмиссионные Э. М., в к-рых изображение получают с помощью электронов, испускаемых образцом при нагреве, освещении или бомбардировке его ионами или электронами (разрешающая способность 20 - 30 нм).

Растровые, или сканирующие, Э. М. Позволяют исследовать как непрозрачные, так и прозрачные для электронов объекты, на к-рые направляется тонкий пучок электронов, непрерывно обегающий (сканирующий) участок поверхности объекта (разрешающая способность 3 - 20 нм). Отражательный Э. М. Даёт изображение объектов с помощью рассеянных электронов, к-рые проходят через систему линз, увеличивающих изображение (разрешающая способность 30 - 50 нм). С помощью зеркальных Э. М. Получают распределение электрич. Потенциала у поверхности исследуемого образца. Электроны отражаются не непосредственно объектом, а экранирующей его эквипотенц. Поверхностью (разрешающая способность 100 нм). В теневом Э. М. На образец направляется тонкий электронный луч (зонд), к-рый на удалённом от объекта экране даёт увеличенное теневое изображение объекта (разрешающая способность до неск.

Десятков нм). С помощью Э. М. Можно изучать изображения отд. Атомных плоскостей, дислокационные картины в металлах и сплавах, кристаллич. Структуру. В кон. 60-х гг. С помощью Э. М. Получены фотографии крупных молекул, на к-рых видно расположение ядер нек-рых атомов. См. Рис. Сканирующий электронный микроскоп "Сте-реоскан 180" (Великобритания) .