Фотолитография

1) специальный фотография, процесс на Фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью (См. Разрешающая способность). Цель Ф. – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие «окна» образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фото..

ФОТОЛИТОГРАФИЯ (от фото. И литография) -..1) фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине2)] Оттиск с такой формы.. ..

См. Фотомеханические способы печатания.. ..

..

(греч.). Резьба по дереву, на котором воспроизведено фотографич. Изображение.(Источник. "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Чудинов А.Н., 1910)резьба по дереву, на котором воспроизведено фотографическое изображение.(Источник. "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Павленков Ф., 1907)резьба по дереву, на котором отпечатаны с помощью фотографии к.-н. Рисунок или изображение.(Источник. "Полный словарь иностранных слов, вошедших в употребление в русск..

В химии разложение какого-либо вещества на его составные части под влиянием световой энергии, доставляемой извне данного вещества.(Источник. "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Чудинов А.Н., 1910). ..

(греч., от phos, photos - свет, и магнетизм). Магнетизм, возбужденный действием света.(Источник. "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Чудинов А.Н., 1910)франц., от phos, photos, свет, и магнетизм. Магнетизм, возбужденный действием света.(Источник. "Объяснение 25000 иностранных слов, вошедших в употребление в русский язык, с означением их корней". Михельсон А.Д., 1865). ..

(греч., от phos, photos - свет, и meteoros - метеор). Световые воздушные явления, напр. Падающие звезды.(Источник. "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Чудинов А.Н., 1910)атмосферические световые явления.(Источник. "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Павленков Ф., 1907)греч., от phos, photos, свет, и meteoros, метеор, светящиеся воздушные явления.(Источник. "Объяснение 25000 иностранных слов, вошедших в употребление в русский язык, с означением ..

Сущ., кол-во синонимов. (2). ..

Ж.Литография, основанная на применении фотографии (1).. ..

ФОТОЛИТОГРА́ФИЯ -и. Ж.. ..

Фотолитографии, ж. (тип.). Литография, основанная на применении фотографии. См. (фото) в 1 знач.. ..

В планарной технологии, способ образования на поверхности полупроводн. Кристалла (подложки) маски с "окнами" определ. Форм и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и др. Электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), к-рый после соотв. Хим. Обработки (вскрытия "окон") становится такой маской. ..

(от фото. И литография) - 1) Ф. В полиграфии - фотомеханич. Способ изготовления формы плоской прямой печати на камне, металлич. Пластине, а также оттиск с такой формы. Методы Ф. Применяют и в технологии изготовления миниатюрных электронных устройств на интегр. Микросхемах. 2) Ф. В электронике - способ формирования рельефного изображения в слое металла, диэлектрика или ПП с использованием спец. Материалов, чувствит. К УФ излучению (т. Н. Фоторезистов). Цель Ф. - создать в слое фоторезиста "окна" ..

— фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине и оттиск с такой формы.. ..

Литография с применением фотографии.. ..