Электронно-зондовые Методы

, физ. Методы исследования и локального анализа пов-сти твердых тел с помощью пучка сфокусированных электронов (зонда). Пучки электронов получают с помощью электронной пушки - вакуумного устройства, обычно диода, в к-ром электроны вылетают из катода благодаря гл. Обр. Термоэлектронной эмиссии и ускоряются электрич. Полем. Фокусировку пучков осуществляют электронными линзами, создающими необходимые электрич. И магн. Поля. В Э.-з. М. Используют первичные медленные (с энергией Е 0 10-103 эВ) и быстрые (Е 0 103-106 эВ) электроны. После взаимод. Пучка первичных электронов с пов-стью исследуемого образца можно регистрировать упруго или неупруго рассеянные электроны, вторичную электронную эмиссию, эмиссию десорбированных атомов или ионов, электромагн.

Излучение в рентгеновской или оптич. Области, наведенный в образце электрич. Ток или эдс. По характеру получаемой информации Э.-з. М. Можно разделить на 3 группы. 1) методы исследования топографии пов-сти и кристаллич. Структуры твердых тел. 2) методы локального анализа. 3) методы исследования электрофиз. Характеристик и электронной структуры твердых тел. К первой группе относятся, в частности, электронная микроскопия - трансмиссионная (просвечивающая) (ТЭМ) и растровая (РЭМ), методы дифракции медленных (ДМЭ) и быстрых ДБЭ) электронов. Ко второй - рентгеноспектральный микроанализ (РСМА. См. Ниже), катодолюминесцентный микроанализ (КЛМА), электронно-зондовая масс-спектрометрия (ЭМС), оже-спектроскопия (ОС), спектроскопия характеристич.

Потерь энергии электронов (СХПЭ), спектроскопия пороговых потенциалов (СПП). К третьей - наряду с последними тремя из перечисленных методов относятся методы ДБЭ, ДМЭ, наведенной эдс и др. Одной из основных характеристик Э.-з. М. Является локальность L - размер зоны, о составе и строении к-рой получают информацию. Значения этой величины как в поперечном (по пов-сти,), так и в продольном (по глубине,) направлениях существенно различаются для разных методов, что видно из таблицы. В последней приведены также значения относит. (С мин) и абсолютных (q мин) пределов обнаружения элементов и относит. Стандартные отклонения .